中圖儀器SJ6000激光干涉儀精密測量及校準(zhǔn)系統(tǒng)集光、機(jī),、電,、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，它利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測量,，具有高精度,、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn)。

SJ6000激光干涉儀精密測量及校準(zhǔn)系統(tǒng)結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,，可實(shí)現(xiàn)線性測長,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量,。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,，以及進(jìn)行位移,、速度、加速度,、振幅與頻率的動態(tài)分析,，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。

產(chǎn)品功能

（1）可實(shí)現(xiàn)線性、角度,、直線度,、垂直度、平行度,、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角,、直線度、垂直度等,；

（3）可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn),；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù),；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能,，包括位移分析、速度分析,、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償,。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,，依次為線性鏡組,、角度鏡組、直線度鏡組,、垂直度鏡組,、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺,。

主要鏡組圖

其中,，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成,。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度,、重復(fù)定位精度,、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償,。

線性測量配置及使用方法

線性測量（線性軸位置精度測量的簡稱）配置主要由SJ6000主機(jī),、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線性鏡組,、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成,，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中,，線性測量包括定位精度測量,、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等。

SJ6000靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成的誤差補(bǔ)償表,，該表涵蓋了各個測量點(diǎn)的補(bǔ)償值,，運(yùn)動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改指運(yùn)動軸的補(bǔ)償值來消除該運(yùn)動軸的位置誤差，精確的補(bǔ)償,，可以有效地降低運(yùn)動軸的位置誤差,。

線性測量應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo),、機(jī)器人,、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備、線性位移平臺,、精密機(jī)械設(shè)備,、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量。

部分技術(shù)規(guī)格

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍,，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實(shí)際情況隨時更新或修改，恕不另行通知,，不便之處敬請諒解,。

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